1、表面淬火：精密减速机常用的表面淬火方法有高频淬火(针对小型齿轮)和火焰淬火(针对大型齿轮)，当表面淬火硬化层包括齿根底部时，齿面硬度可达45-55HRC。

　　2、渗氮：渗氮可以保证齿轮在变形最小的情况下可以达到很高的齿数。 表面硬度和耐磨性，热处理后无需精加工，提高了承载能力。

　　3、渗碳淬火：精密减速机的渗碳淬火齿轮承载能力较大，但必须采用精加工(磨齿)工艺，消除热处理变形，保证精度。

　　渗碳淬火齿轮是常用的合金钢，渗碳前碳含量为0.2%-0.3%，齿面硬度常在58-62HRC范围内，如果低于57HRC，硬质表面强度显着下降，高于62HR，脆性增加。

　　渗碳淬火齿轮的硬度从齿轮表面到深层逐渐降低，有效渗碳深度规定为从表面到硬度5.25HRC的深度。

　　精密减速机渗碳淬火对齿轮弯曲疲劳强度的影响不仅增加了芯部的硬度，还在于表面的残余压应力，它可以减少应力区的应力，所以磨齿时不能磨齿根部。

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